石英玻璃窗/板/盤容差： |
厚度（> 2mm， ≦50mm） | 厚度（> 50mm，≦100mm） | 厚度（> 100mm，≦200mm） |
|---|---|---|---|
| 公差範圍 | ±0.1mm〜±0.15mm | ±0.15mm〜±0.3mm | ±0.3mm〜±0.5mm |
| 直徑/長度/寬度（≦50mm） | 直徑/長度/寬度（> 50mm，≦100mm） | 直徑/長度/寬度（> 100mm，≦200mm） | |
| 公差範圍 | ±0.05mm〜±0.1mm | ±0.1mm〜±0.2mm | ±0.2mm〜±0.5mm |
石英玻璃管/氣缸容差： |
厚度1mm~3mm | 厚度3mm~5mm | 厚度5mm~10mm | 厚度10mm~15mm |
|---|---|---|---|---|
| 公差範圍 | ±0.1mm〜±0.15mm |
±0.15mm〜±0.2mm |
±0.2mm〜±0.3mm |
±0.3mm〜±0.5mm |
其他：弧/角（1°~3°），Chemfer（±0.1mm~±0.3mm）
