맞춤형 고순도 반도체 용융 석영 유리 웨이퍼 보트/웨이퍼 처리 확산에 사용할 수 있는 다양한 크기 및 슬롯 수의 웨이퍼 캐리어

우리는 외관 크기(기존 치수는 1"~12") 및 다양한 너비의 슬롯을 포함하여 모든 크기의 고순도 반도체 융합 석영 유리 웨이퍼 보트/웨이퍼 캐리어를 맞춤화할 수 있습니다. 최소 슬롯 너비는 1mm 미만일 수 있습니다. 슬롯의 너비가 작을수록 처리하기가 더 어려우므로 비용이 높아질 것입니다. 일반적인 Quartz Glass Wafer Boats의 슬롯은 화재 연마 대상입니다. 슬롯의 화재 연마는 내부 슬롯 벽을 매끄럽게 만들 수 있습니다. 제품을 사용하는 동안 실리콘 웨이퍼 캐리어가 손상되지 않습니다. 슬롯 폭이 작을수록 더 높은 가공 정확도가 필요합니다. 일반적으로 ±1~±0.01mm 범위 내에서 슬롯 폭 0.03mm의 정확도 공차를 제어할 수 있습니다. 슬롯의 가장자리도 약간 모따기할 수 있습니다.
반도체 석영 보트의 또 다른 기능은 실리콘 웨이퍼를 표시하는 것입니다. 이때 Quartz Glass Wafer Boats / Wafer Carriers는 웨이퍼의 원래 모습을 더 명확하게 보여주기 위해 더 간결해야 합니다. 고순도 반도체 용융 석영 유리 웨이퍼 보트는 실리콘 웨이퍼 처리의 확산에도 사용할 수 있습니다. 고순도 반도체 용융 석영 유리 웨이퍼 보트/웨이퍼 캐리어는 반도체 산업에서 중요한 역할을 합니다.
반도체 용융 석영 웨이퍼 보트를 처리할 때 사전에 특정 웨이퍼를 맞춤화합니다. 이 기능은 보다 실용적이고 정확한 반도체 석영 웨이퍼 보트를 생산하는 것입니다. 일반적으로 고객은 사용할 웨이퍼의 크기와 슬롯 번호만 알려주면 됩니다. 고객은 또한 필요한 구체적이고 복잡한 반도체 용융 석영 웨이퍼 보트를 처리하기 위해 도면을 제공할 수 있습니다. / 웨이퍼 캐리어.

태양광 산업에서의 석영 보트 소개

태양광 전지 생산 공정에서 석영 보트는 핵심적인 중요성을 가지고 있습니다. 그 주요 기능은 고온 확산 공정에서 실리콘 웨이퍼를 운반하는 캐리어 역할을 하는 것입니다.

석영 보트 의 기능

고온 운반

석영 보트는 인이나 붕소의 확산 단계와 같이 고순도 질소, 산소 또는 기타 불활성 가스가 포함된 분위기에서 수행되는 고온 처리에 사용됩니다. 이러한 공정은 태양 전지 제조에서 중요한 단계를 나타내며 실리콘 웨이퍼에 PN 접합을 형성하는 데 사용됩니다.

정확한 위치

석영 보트 내부의 슬롯을 정밀하게 설계함으로써 실리콘 웨이퍼가 고온 확산 공정 내내 지정된 위치에 고정되도록 보장하여 균일한 가열을 보장하고, 결과적으로 최종 배터리 성능의 일관성과 효율성을 보장합니다.

오염을 피하다

석영 소재는 뛰어난 고온 내구성과 화학적 안정성을 갖추고 있어 실리콘 웨이퍼를 오염시키지 않아 생산 환경을 높은 청결 상태로 유지하는 데 도움이 됩니다.

석영보트의 재료

석영보트는 일반적으로 고순도 석영 유리로 만들어지는데, 그 이유는 석영(SiO₂)이 다음과 같은 특성을 나타내기 때문입니다.

고온 내구성: 석영 소재는 변형이나 용융 없이 약 1200°C에 달하는 온도에서 장시간 작동할 수 있으므로 태양광 전지 생산 시 고온 확산에 대한 요구 사항을 충족합니다.

화학적 안정성: 석영은 대부분의 산 및 염기 용액과 많은 화학 물질에 대해 매우 높은 화학적 불활성을 보입니다. 이 특성은 실리콘 웨이퍼와 반응하거나 고온 처리 중에 불순물을 도입하는 것을 방지합니다.

낮은 열팽창 계수: 석영은 낮은 열팽창 계수를 나타내므로 상당한 온도 변동을 받더라도 모양과 크기가 최소한으로 변할 수 있습니다. 이 특성은 공정에서 정밀성과 반복성을 유지하는 데 유용합니다.

높은 순도: 태양광 산업에 사용되는 석영 보트는 셀의 효율성에 영향을 줄 수 있는 불순물 원소의 존재를 줄이기 위해 높은 순도를 가져야 합니다.

석영보트 활용을 위한 요구사항

온도 조절

석영 보트는 수천도 셀시우스에 달하는 온도에서 지속적이고 안정적으로 작동해야 합니다. 따라서 재료는 변형이나 파손 없이 그러한 극한의 온도를 견딜 수 있어야 합니다.

청결 요구 사항

석영 보트는 사용 전에 철저히 세척하고 건조하여 불순물이 없고 확산 효과를 손상하거나 실리콘 웨이퍼 표면에 얼룩이 지지 않도록 해야 합니다.

로딩 요구 사항

모든 부분이 확산 중 일관되게 처리되도록 하기 위해 실리콘 웨이퍼를 특정 순서와 방향으로 석영 보트에 삽입해야 합니다.

C 는 관리 및 유지보수를 담당합니다 .

청소 과정

석영 보트 세척은 일반적으로 초순수, 산 및 알칼리 용액 또는 특수 세척제를 사용합니다. 이러한 세척제는 기계적 스크러빙, 초음파 세척 및 기타 기술을 통해 보트에서 잔류 물질을 제거하는 데 사용됩니다. 세척 과정 후에는 습기로 인한 2차 오염이나 부식이 발생하지 않도록 철저히 건조하는 것이 필수적입니다.