半導体溶融石英ガラスボート/シリコンウェーハキャリアホルダー/石英燃焼ボート

半導体業界で最も一般的に使用されているシリコン ウェーハ キャリアは溶融石英ボートと呼ばれ、石英ガラス キャリア/石英ウェーハ ホルダーとしても知られています。 研究室で使用される溶融石英ガラスボートは、石英燃焼ボートとも呼ばれる加熱用の容器です。 その名前が示すように、石英ボートは溶融石英石英ガラスで作られたキャリア/ホルダーまたはコンテナです。 石英ウェーハボートは一般に、化学、冶金、電気、科学研究、太陽光発電および半導体産業で使用されます。
半導体業界の石英ウェーハボートは、使用するシリコンウェーハのサイズと厚さに応じてさまざまなサイズがあります。 通常のサイズは6インチ、7インチ、8インチです。 このサイズはシリコン石英ウェーハの直径を指します。 石英ボートの溝幅はシリコンウェーハの厚みに応じて決める必要があります。 従来の溝幅は少なくとも1mm以上必要でした。 ただし、より小さいスロット幅をカスタマイズすることもできます。
大型の石英ウェーハボートのカスタマイズは困難です。 より大きな材料が必要になるだけでなく、固定のためのより大きな治具も必要になります。 小さな偏差が全体的なサイズの誤差につながることが多いためです。 したがって、大型の石英ボートを製造するには、より優れた設備とより経験豊富な技術者が必要です。
研究室で使用される石英燃焼ボートは、比較的単純なタイプのコンテナ型石英ボートです。 通常、石英管は所定のサイズに切断して溶接します。 この時点で、溶接プロセスが最も重要な技術基準となります。
当社には長年の経験があります さまざまなタイプとサイズの石英ウェーハボート、石英キャリア、石英ガラスウェーハホルダーのカスタマイズ。 お問い合わせ歓迎です。