石英ガラス窓/プレート/ディスク公差： |
厚さ（> 2mm、 ≦50mm） | 厚さ（> 50mm、≤100mm） | 厚さ（> 100mm、≤200mm） |
|---|---|---|---|
| 許容範囲 | ±0.1mm〜±0.15mm | ±0.15mm〜±0.3mm | ±0.3mm〜±0.5mm |
| 直径/長さ/幅（≦50mm） | 直径/長さ/幅（> 50mm、≦100mm） | 直径/長さ/幅（> 100mm、≦200mm） | |
| 許容範囲 | ±0.05mm〜±0.1mm | ±0.1mm〜±0.2mm | ±0.2mm〜±0.5mm |
石英ガラス管/シリンダ公差： |
厚さ1mm〜3mm | 厚さ3mm〜5mm | 厚さ5mm〜10mm | 厚さ10mm〜15mm |
|---|---|---|---|---|
| 許容範囲 | ±0.1mm〜±0.15mm |
±0.15mm〜±0.2 mm |
±0.2mm〜±0.3 mm |
±0.3mm〜±0.5 mm |
その他：円弧/角度（1°〜3°）、ケムファー（±0.1mm〜±0.3mm）
